CDG100D là dòng Đầu đo chân không màng điện dung, chịu nhiệt cao tới 200 độ C
Đây là sự lựa chọn tốt nhất cho yêu cầu đo và kiểm soát áp suất toàn dải chính xác.
CDG100D được kiểm soát nhiệt độ ở 100 ° C cho hiệu suất vượt trội trong các quy trình bán dẫn và plasma.
Chúng đáp ứng tốt với các model sẵn cho các dải đo từ từ 100 mTorr đến 1000 Torr, với tất cả các loại mặt bích và giao diện phổ biến cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính 0 đến 10 V.
Áp kế điện dung INFICON sử dụng màng ngăn bằng gốm alumina siêu tinh khiết chống ăn mòn.
Ưu điểm của các dòng CDG100D
- Cảm biến gốm giúp ổn định tín hiệu tốt hơn, phục hồi nhanh hơn từ áp suất khí quyển
- Thời gian làm nóng ngắn và tuổi thọ tuyệt vời
- Không phụ thuộc vào các loại khí
Ứng dụng liên quan đến bán dẫn, plasma và yêu cầu độ chính xác chân không cao.
DBM Co., ltd là đại lý ủy quyền hãng INFICON từ 2014 đến nay, nên chúng tôi không chỉ cung cấp sản phẩm chính hãng mà còn kiêm luôn dịch vụ sửa chữa – bảo hành ngay tại Việt Nam.
Thông tin chi tiết, tham chiếu tại đây
Clip thực tế thiết bị:
Bảng chọn dòng CDG100D
Thông số kỹ thuật
Type | 1000 … 500 Torr / mbar | 200 … 1 Torr / mbar | 0.5 … 0.1 Torr / mbar |
Độ chính xác % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.4 |
Áp suất tuyệt đối tối đa kPa | 400 | 260 | 130 |
Độ phân giải % FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
Nhiệt độ hoạt động (°C) | +10 … +50 | +10 … +50 | +10 … +50 |
Nhiệt độ bảo quản (°C) | –20 … +65 | –20 … +65 | –20 … +65 |
Điện áp cấp
|
+14 … +30 VDC hoặc ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC hoặc ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC hoặc ±15 V (±5%) |
Tiêu thụ năng lượng | |||
Trong suốt quá trình làm nóng
W |
≤15 | ≤15 | ≤15 |
Tại nhiệt độ hoạt động
W |
≤10 | ≤10 | ≤10 |
Tín hiệu đầu ra (analog)
V (dc) |
0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
Cấp bảo vệ
|
IP 40 | IP 40 | IP 40 |
Các tiêu chuẩn | |||
CE
|
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS |
ETL
|
UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 |
SEMI
|
SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 |
Kết nối điện
|
D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male |
Vật liệu tiếp xúc chân không
|
Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) |
Khối lượng | |||
1/2” tube (g) | 837 | 837 | 837 |
DN 16 ISO KF (g) | 852 | 852 | 852 |
DN 16 CF-R (g) | 875 | 875 | 875 |
8 VCR® (g) | 897 | 897 | 897 |
Q&A
Sản Phẩm Liên Quan
Đồng hồ đo màng điện dung tốc độ cao INFICON Stripe là dụng cụ đo chân không nhanh nhất, chính xác cao nhất hiện nay.Với...
PGE500 là bản nâng cấp của dòng PGE300 , cùng hoạt động theo nguyên lý đối lưu nên cho phép dòng đầu đo này mang lại độ...
Khoảng đo : 0.05 Torr … 1000 Torr Thay thế trực tiếp cho dòng Ambient Capacitive Gauges CERAVAC CTR 100 và CTR 101 (Leybold)
BAG302 là dòng đầu đo chân không Bayard-Alpert Hot Ion, cho dải đo rộng từ 1.3 × 10-9 đến 6.7×10-2 mbar(1 × 10-9 to 5 × 10-2 Torr)