Đầu đo chân không màng điện dung CDG100D – INFICON

Thương hiệu: INFICON
Mã sản phẩm: CDG100D

    CDG100D là dòng Đầu đo chân không màng điện dung, chịu nhiệt cao tới 200 độ C

    Đây là sự lựa chọn tốt nhất cho yêu cầu đo và kiểm soát áp suất toàn dải chính xác.

    CDG100D được kiểm soát nhiệt độ ở 100 ° C cho hiệu suất vượt trội trong các quy trình bán dẫn và plasma.

    Chúng đáp ứng tốt với các model sẵn cho các dải đo từ từ 100 mTorr đến 1000 Torr, với tất cả các loại mặt bích và giao diện phổ biến cung cấp tín hiệu áp suất tuyến tính 0 đến 10 V.

    Áp kế điện dung INFICON sử dụng màng ngăn bằng gốm alumina siêu tinh khiết chống ăn mòn.

    Ưu điểm của các dòng CDG100D

    • Cảm biến gốm giúp ổn định tín hiệu tốt hơn, phục hồi nhanh hơn từ áp suất khí quyển
    • Thời gian làm nóng ngắn và tuổi thọ tuyệt vời
    • Không phụ thuộc vào các loại khí

    Ứng dụng liên quan đến bán dẫn, plasma và yêu cầu độ chính xác chân không cao.

    DBM Co., ltd là đại lý ủy quyền hãng INFICON từ 2014 đến nay, nên chúng tôi không chỉ cung cấp sản phẩm chính hãng mà còn kiêm luôn dịch vụ sửa chữa – bảo hành ngay tại Việt Nam.

    Thông tin chi tiết, tham chiếu tại đây

    Clip thực tế thiết bị:

    Bảng chọn dòng CDG100D

    Thông số kỹ thuật

    Type 1000 … 500 Torr / mbar 200 … 1 Torr / mbar 0.5 … 0.1 Torr / mbar
    Độ chính xác % of reading 0.2 0.2 0.4
    Áp suất tuyệt đối tối đa kPa 400 260 130
    Độ phân giải % FS 0.003 0.003 0.003
    Nhiệt độ hoạt động (°C) +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
    Nhiệt độ bảo quản (°C) –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
    Điện áp cấp

     

    +14 … +30 VDC hoặc ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC hoặc ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC hoặc ±15 V (±5%)
    Tiêu thụ năng lượng
    Trong suốt quá trình  làm nóng

    W

    ≤15 ≤15 ≤15
    Tại nhiệt độ hoạt động

    W

    ≤10 ≤10 ≤10
    Tín hiệu đầu ra (analog)

    V (dc)

    0 … +10 0 … +10 0 … +10
    Cấp bảo vệ

     

    IP 40 IP 40 IP 40
    Các tiêu chuẩn
    CE

     

    EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
    ETL

     

    UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
    SEMI

     

    SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
    Kết nối điện

     

    D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
    Vật liệu tiếp xúc chân không

     

    Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
    Khối lượng
    1/2” tube (g) 837 837 837
    DN 16 ISO KF (g) 852 852 852
    DN 16 CF-R (g) 875 875 875
    8 VCR® (g) 897 897 897

    Q&A

    Sản Phẩm Liên Quan

    CDG045Dhs Inficon
    Stripe™ CDG045Dhs - INFICON

    Đồng hồ đo màng điện dung tốc độ cao INFICON Stripe là dụng cụ đo chân không nhanh nhất, chính xác cao nhất hiện nay.Với...

    Chi tiết sản phẩm
    Đầu đo chân không PGE500
    Đầu đo chân không Pirani chính xác cao PGE500 - INFICON

    PGE500 là bản nâng cấp của dòng PGE300 , cùng hoạt động theo nguyên lý đối lưu nên cho phép dòng đầu đo này mang lại độ...

    Chi tiết sản phẩm
    Dau do chan khong mang dien dung CDG025D inficon
    Đầu đo chân không màng điện dung CDG025D - INFICON

    Khoảng đo : 0.05 Torr … 1000 Torr Thay thế trực tiếp cho dòng Ambient Capacitive Gauges CERAVAC CTR 100 và CTR 101 (Leybold)

    Chi tiết sản phẩm
    Đầu đo chân không dải đo rộng BAG302 - INFICON

    BAG302 là dòng đầu đo chân không Bayard-Alpert Hot Ion, cho dải đo rộng từ 1.3 × 10-9 đến 6.7×10-2 mbar(1 × 10-9 to 5 × 10-2 Torr)

    Chi tiết sản phẩm