Stripe™ CDG045Dhs – INFICON
Stripe™ CDG045Dhs 0.01 … 1000Torr / mbar, “new 10mTorr”
Đồng hồ đo màng điện dung tốc độ cao INFICON Stripe là dụng cụ đo chân không nhanh nhất, chính xác cao nhất hiện nay.Với thời gian phản hồi chưa đến 2 ms kết hợp với giao diện EtherCAT, nó mở ra một lĩnh vực ứng dụng hoàn toàn mới.
Cảm biến gốm siêu tinh khiết, chống ăn mòn cung và được điều khiển nhiệt độ cho phép tính ổn định vượt trội của phép đo trong nhiều năm.
Stripe đi kèm với tấm bảo vệ cảm biến độc đáo được cấp bằng sáng chế của INFICON giúp bảo vệ đầu đo khỏi các chất gây ô nhiễm không mong muốn.
INFICON Stripe sử dụng công nghệ “innovative heating concept”, mang lại sự mát mẻ cho bề mặt cảm ứng và với khả năng tốc độ độc đáo của nó, cho phép tăng năng suất chưa từng có, biến nó thành đầu đo chân không tiên tiến nhất của loại này.
Stripe CDG045Dhs is a proud winner of the prestigious 2014 R&D 100 Award!!!
- Model: CDG045Dhs, CDG100Dhs
- Đầu đo chân không với tốc độ cao nhất: thời gian phản hồi < 2 ms
- Dễ dàng tích hợp với giao tiếp EtherCAT
- Khả năng chịu nhiệt, chống ăn mòn
- Đầu cảm biến bằng sứ, độ bền cao
- Độ ổn định cao, không cần hiệu chuẩn lại
Ứng dụng
- Kỹ thuật lắng đọng lớp nguyên tử
- Điều khiển quy trình tốc độ cao
- Mạ PVD, CVD, Etch
- Các ứng dụng chân không nhiệt độ cao
Bảng chọn CDG045Dhs
Thông số kỹ thuật
| Loại | 1000Torr / 1100mbar … 0.05Torr / mbar | 0.02 … 0.01Torr / mbar |
| Độ chính xác % giá trị đọc | 0.15 | – |
| Độ phân giải % FS | 0.003 | 0.003 |
| Nhiệt độ hoạt động (°C) | +10 … +40 | +10 … +40 |
| Nhiệt độ bảo quản (°C) | –20 … +85 | –20 … +85 |
| Điện áp cấp | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) |
| Tín hiệu ngõ ra (analog) (Vdc) | 0 … +10 | 0 … +10 |
| Cấp bảo vệ | IP 30 | IP 30 |
| Chuẩn CE
|
EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS |
| Tiếp điển relay (Vdc) | ≤30 | ≤30 |
| Vật liệu tiếp xúc với chân không | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), thép không gỉ (AISI 316L (4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), thép không gỉ (AISI 316L (4)) |
Q&A
Sản Phẩm Liên Quan
Khoảng đo : 0.05 Torr … 1000 Torr Thay thế trực tiếp cho dòng Ambient Capacitive Gauges CERAVAC CTR 100 và CTR 101 (Leybold)
Khoảng đo: 10 … 1000 Torr (mbar) Độ chính xác: 1% thang đo (tùy chọn 0.5%) Độ phân giải: 0.05% thang đo Giá trị đọc...
Đầu đo chân không với độ chính xác cao, thiết kế nhỏ gọn Dễ dàng tích hợp, tùy chọn giao tiếp EtherCAT
CDG100D là dòng Đầu đo chân không màng điện dung, chịu nhiệt cao tới 200 độ C Đây là sự lựa chọn tốt nhất cho...