Đầu đo chân không kiểu điện dung CDG100D2 – INFICON
Đầu đo chân không kiểu điện dung – EDGE
- Model: CDG100D2
- Đầu đo chân không với độ chính xác cao, thiết kế nhỏ gọn
- Dễ dàng tích hợp, tùy chọn giao tiếp EtherCAT
- Cổng chẩn đoán cho việc bảo trì và sửa chữa
- Khả năng chịu nhiệt, chống ăn mòn
- Đầu cảm biến bằng sứ, độ bền cao
- Chuẩn tương thích: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Giải pháp đo chân không lý tưởng cho môi trường khác nghiệt với khả năng chống ăn mòn và chịu được nhiệt độ cao
Ứng dụng:
- Mạ chân không CVD, PVD, khắc
- Các quy trình sản xuất bán dẫn khác
Thông số kỹ thuật
- Model: CDG045D2, CDG100D2
- Khoảng đo: 1 … 1000 Torr
- Độ chính xác: 0.15% giá trị đo
- Áp suất tối đa: 400 kPa / 260 kPa (1 … 500 Torr)
- Độ phân giải: 0.003% thang đo
- Giá trị đọc nhỏ nhất: 0.01% thang đo
- Nhiệt độ làm việc: 10…50 oC
- Điện áp nguồn: 14…30V DC hoặc ±15 V
- Điện áp ngõ ra: 0…10V DC
- Kết nối: D-sub 15 chân, male
- Cổng chẩn đoán: RS232-C (áp suất, trạng thái, ID)
- 2 setpoint, tiếp điểm relay ≤ 30V DC / 0.5A
- Mặt bích: tùy chọn DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, OD ½ inch, 8 VCR female
- Vật liệu tiếp xúc chân không: nhôm oxit sứ, thép không gỉ (AISI 316L)
- Cấp bảo vệ: IP 40
Q&A
Sản Phẩm Liên Quan
Giải pháp thay thế trực tiếp cho dòng đầu đo IONIVAC ITR 90 (Leybold) Đầu đo chân không kết hợp Bayard-Alpert Pirani với chức năng...
CDG100D là dòng Đầu đo chân không màng điện dung, chịu nhiệt cao tới 200 độ C Đây là sự lựa chọn tốt nhất cho...
Khoảng đo : 0.05 Torr … 1000 Torr Thay thế trực tiếp cho dòng Ambient Capacitive Gauges CERAVAC CTR 100 và CTR 101 (Leybold)
Thiết bị đo chân không với độ chính xác cao nhất (≤0.025%) Độ ổn định cao nhất – đã được PTB xác minh