Đầu đo chân không kiểu điện dung CDG100D2 – INFICON
Đầu đo chân không kiểu điện dung – EDGE
- Model: CDG100D2
- Đầu đo chân không với độ chính xác cao, thiết kế nhỏ gọn
- Dễ dàng tích hợp, tùy chọn giao tiếp EtherCAT
- Cổng chẩn đoán cho việc bảo trì và sửa chữa
- Khả năng chịu nhiệt, chống ăn mòn
- Đầu cảm biến bằng sứ, độ bền cao
- Chuẩn tương thích: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Giải pháp đo chân không lý tưởng cho môi trường khác nghiệt với khả năng chống ăn mòn và chịu được nhiệt độ cao
Ứng dụng:
- Mạ chân không CVD, PVD, khắc
- Các quy trình sản xuất bán dẫn khác
Thông số kỹ thuật
- Model: CDG045D2, CDG100D2
- Khoảng đo: 1 … 1000 Torr
- Độ chính xác: 0.15% giá trị đo
- Áp suất tối đa: 400 kPa / 260 kPa (1 … 500 Torr)
- Độ phân giải: 0.003% thang đo
- Giá trị đọc nhỏ nhất: 0.01% thang đo
- Nhiệt độ làm việc: 10…50 oC
- Điện áp nguồn: 14…30V DC hoặc ±15 V
- Điện áp ngõ ra: 0…10V DC
- Kết nối: D-sub 15 chân, male
- Cổng chẩn đoán: RS232-C (áp suất, trạng thái, ID)
- 2 setpoint, tiếp điểm relay ≤ 30V DC / 0.5A
- Mặt bích: tùy chọn DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, OD ½ inch, 8 VCR female
- Vật liệu tiếp xúc chân không: nhôm oxit sứ, thép không gỉ (AISI 316L)
- Cấp bảo vệ: IP 40
Q&A
Sản Phẩm Liên Quan
CDG100D là dòng Đầu đo chân không màng điện dung, chịu nhiệt cao tới 200 độ C Đây là sự lựa chọn tốt nhất cho...
Thiết bị đo chân không với độ chính xác cao nhất (≤0.025%) Độ ổn định cao nhất – đã được PTB xác minh
Khoảng đo : 0.05 Torr … 1000 Torr Thay thế trực tiếp cho dòng Ambient Capacitive Gauges CERAVAC CTR 100 và CTR 101 (Leybold)
Giải pháp thay thế trực tiếp cho dòng đầu đo IONIVAC ITR 90 (Leybold) Đầu đo chân không kết hợp Bayard-Alpert Pirani với chức năng...