Đầu đo chân không dải đo rộng BAG302 – INFICON
Đầu đo chân không BAG302 với dải đo từ trung bình đến siêu cao
BAG302 là dòng đầu đo chân không Bayard-Alpert Hot Ion, cho dải đo rộng từ 1.3 × 10-9 đến 6.7×10-2 mbar(1 × 10-9 to 5 × 10-2 Torr)
Ưu điểm:
- Hai sợi đốt (filament) bạch kim phủ yttrium oxit cho thời gian hoạt động lâu dài
- BAG302 là thiết bị “all in one” với màn hình tích hợp, setpoints, ngõ ra tương tự và cổng tiêu chuẩn RS485 tích hợp.
- Màn hình OLED kỹ thuật số sáng rực rỡ với bàn phím bên dưới giúp đơn giản hóa các thao tác và lập trình
- Đơn vị đo thay đổi tùy chọn theo mbar, Torr hoặc Pa
- Người dùng có thể lựa chọn tự động điều chỉnh dòng phát xạ
- Rất bền và chắc chắn
- Mặt bích đa dạng, tùy chọn
- Dễ dàng thay thế lõi cảm biến
- Tuân thủ/đáp ứng theo tiêu chuẩn: CE, RoHS
- Thay thế trực tiếp với các dòng Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® – các chức năng điều khiển giống hệt nhau bao gồm lệnh và phần mềm.
Ứng dụng điển hình
- Đo áp suất chân không trong quy trình bán dẫn và buồng chuyển
- Phủ mạ chân không công nghiệp
- Đo và điều khiển chân không từ dải đo thấp đến cao
Thông số kỹ thuật
| Dải đo | 1.3 × 10-9 … 6.7 × 10-2 mbar
1 × 10-9 … 5 × 10-2 Torr 1.3 × 10-7 … 6.7 Pa |
| Độ chính xác (N2) % giá trị đọc | |
| 1.3×10-8 … 6.7×10-2 mbar | ±15 |
| 1×10-8 … 5×10-2 Torr | ±15 |
| Độ lặp lại % giá trị đọc | ±5 |
| Nhiệt độ hoạt động °C | 0 … +40 |
| Nhiệt độ bảo quản °C | -40 … +70 |
| Điện áp cấp (Vdc) | +20 … +28 |
| Giao diện (digital) | RS485 |
| Vật liệu sợi đốt | Hai sợi bạch kim mạ Yt2O2 |
| Trạng thái sợi đốt | Hiển thị / ngõ ra số |
| Kết nối điện | D-Sub, 9-pin, male dành cho analog D-Sub, 9-pin, female danh cho RS485 |
| Vật liệu tiếp xúc chân không | Yt2O3, Ir, W, Ta, thép không gỉ, thủy tinh, Ni |
| Khối lượng (g) | 270 |
Q&A
Sản Phẩm Liên Quan
Đầu đo chân không thụ động INFICON Bayard-Alpert BAG050, BAG051, BAG052 và BAG053 được thiết kế để sử dụng với Bộ điều khiển đo chân...
Khoảng đo: 10-2 mbar … 10-9 mbar Nhiệt độ hoạt động: 0 – 80 độ C Áp suất lớn nhất (tuyệt đối): 6 bar
Bộ điều khiển đầu đo chân không INFICON VGC083 được thiết kế để sử dụng với đầu đo thụ động BAG05x và PGE050. VGC083 kiểm...
Khoảng đo từ 5 x 10-10 mbar đến 6.7 x 10-2 mbar Sợi đốt bạch kim phủ yttium oxit