Với ngành công nghiệp có chi phí đầu tư lớn như sản xuất chất bán dẫn thì việc kiểm tra rò rỉ là vô cùng quan trọng, đòi hỏi sự nhanh chóng và chính xác. Vì vậy UL6000 Fab của hãng INFICON ra đời.
- Là hệ thống kiểm tra chính xác, bền bỉ, độ tin cậy cao nhất trên thị trường
- Với phương pháp phun khí Heli, giúp bạn tìm thấy những chỗ rò rỉ nhỏ nhất với thời gian cực nhanh
- Cải tiến mới về bơm, hoạt động tốt trong môi trường khí có độ ẩm cao
- Máy đo khối phổ kế 180° với độ nhạy lớn nhất trong ngành, phát hiện ngay cả lượng Heli nhỏ nhất.
- Tất cả các linh kiện của UL6000 Fab đều đáp ứng các yêu cầu tiêu chuẩn kiểm tra nghiêm ngặt nhất để đảm bảo độ bền bỉ và tính chính xác của thiết bị
UL6000 Fab với nhiều tính năng vượt trội:
- Thời gian phản hồi nhanh hơn nhờ HYDRO·S
- Linh hoạt hơn nhờ chế độ Massive giúp dễ dàng phát hiện rò rỉ ở áp suất khí quyển
- I·ZERO 2.0 cho phép giảm khí nền Heli nhưng vẫn đảm bảo độ chính xác
- Hệ thống hoạt động mạnh mẽ, ít bảo trì
Ứng dụng:
- Sản xuất vật liệu bán dẫn
- Sản xuất màn hình phẳng
- Sản xuất pin mặt trời
- Linh kiện, hệ thống cho ngành hàng không vũ trụ
UL6000 Fab Máy dò rò rỉ chân không di động – công cụ cuối cùng trong kiểm tra rò rỉ
Thông số kỹ thuật
THÔNG SỐ KỸ THUẬT | |
Khả năng dò tìm mức độ rò rỉ khí Helium nhỏ nhất (chế độ chân không) | <5∙10-12 mbar∙L/s |
Khả năng dò tìm mức độ rò rỉ khí Helium nhỏ nhất (chế độ hút) | <5∙10-8 mbar∙L/s |
Áp suất lớn nhất tại ngõ vào (chế độ Massive) | atm (~1013 mbar) |
Loaị máy bơm thô | roots |
Tốc độ tối đa của bơm | 36 m³/h |
|
23 m³/h |
|
26 m³/h |
|
26 m³/h |
Tốc độ bơm tối đa khí Helium (Chế độ ULTRA) | >36 L/s |
Thời gian sơ tán đến 1 mbar 50 L | 52 s |
Thời gian sơ tán đến 1 mbar 100 L | 104 s |
Thời gian sơ tán đến 1 mbar 1000 L | 1054 s |
Thời gian khởi động | < 2 phút |
Thời gian hiệu chuẩn | < 30 giây |
Mặt bích đầu vào | DN63 ISO-K |
Nguồn cấp | 100 to 230 V 50/60 Hz |
Trọng lượng | 143 kg |
Thông tin đặt hàng:
UL6000 Fab (100 to 230 V 50/60 Hz) | 550-520 |
DN63-ISO K Connection Kit (1x Bellow 1 m, 1x 90° elbow, 2x center ring, 2x clamp set) | 551-225 |
DN63-ISO K/DN50 ISO KF Bellow 1 m | 551-226 |
DN63-ISO K/DN40 ISO KF Bellow 1 m | 551-227 |
Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter | 551-015 |
Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable | 551-010 |
Vacuum Hose Holder for DN25 or DN40 | 551-202 |
Vacuum Hose Holder DN63 | 551-207 |
SL3000-3, sniffer line 3 m length | 525-001 |
SL3000-5, sniffer line 5 m length | 525-002 |
SL3000-10, sniffer line 10 m length | 525-003 |
Bracket for SL3000 | 551-203 |
SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000/6000 | 551-210 |
Helium bottle holder | 551-201 |
I/O 1000 Module | 560-310 |
BM1000 Profi bus module | 560-315 |
BM1000 PROFINET IO module | 560-316 |
BM1000 DeviceNet module | 560-317 |
BM1000 Ethernet/IP module | 560-318 |
Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m | 560-334 |
Data Cable 2 m | 560-332 |
Data Cable 5 m | 560-335 |
Data Cable 10 m | 560-340 |