Máy dò tìm rò rỉ chân không UL6000 Fab – INFICON

    Với ngành công nghiệp có chi phí đầu tư lớn như sản xuất chất bán dẫn thì việc kiểm tra rò rỉ là vô cùng quan trọng, đòi hỏi sự nhanh chóng và chính xác. Vì vậy UL6000 Fab của hãng INFICON ra đời.

    • Là hệ thống kiểm tra chính xác, bền bỉ, độ tin cậy cao nhất trên thị trường
    • Với phương pháp phun khí Heli, giúp bạn tìm thấy những chỗ rò rỉ nhỏ nhất với thời gian cực nhanh
    • Cải tiến mới về bơm, hoạt động tốt trong môi trường khí có độ ẩm cao
    • Máy đo khối phổ kế 180° với độ nhạy lớn nhất trong ngành, phát hiện ngay cả lượng Heli nhỏ nhất.
    • Tất cả các linh kiện của UL6000 Fab đều đáp ứng các yêu cầu tiêu chuẩn kiểm tra nghiêm ngặt nhất để đảm bảo độ bền bỉ và tính chính xác của thiết bị

    UL6000 Fab với nhiều tính năng vượt trội:

    • Thời gian phản hồi nhanh hơn nhờ HYDRO·S
    • Linh hoạt hơn nhờ chế độ Massive giúp dễ dàng phát hiện rò rỉ ở áp suất khí quyển
    • I·ZERO 2.0 cho phép giảm khí nền Heli nhưng vẫn đảm bảo độ chính xác
    • Hệ thống hoạt động mạnh mẽ, ít bảo trì

    Ứng dụng:

    • Sản xuất vật liệu bán dẫn
    • Sản xuất màn hình phẳng
    • Sản xuất pin mặt trời
    • Linh kiện, hệ thống cho ngành hàng không vũ trụ

    UL6000 Fab Máy dò rò rỉ chân không di động – công cụ cuối cùng trong kiểm tra rò rỉ

    Thông số kỹ thuật

    Datasheet

    THÔNG SỐ KỸ THUẬT
    Khả năng dò tìm mức độ rò rỉ khí Helium nhỏ nhất (chế độ chân không) <5∙10-12 mbar∙L/s
    Khả năng dò tìm mức độ rò rỉ khí Helium nhỏ nhất (chế độ hút) <5∙10-8 mbar∙L/s
    Áp suất lớn nhất tại ngõ vào (chế độ Massive) atm (~1013 mbar)
    Loaị máy bơm thô roots
    Tốc độ tối đa của bơm 36 m³/h
    •  Tốc độ bơm đầu vào (100-1000 mbar)
    23 m³/h
    •   Tốc độ bơm đầu vào (10-100 mbar)
    26 m³/h
    •   Tốc độ bơm đầu vào (1-10 mbar)
    26 m³/h
    Tốc độ bơm tối đa khí Helium (Chế độ ULTRA) >36 L/s
    Thời gian sơ tán đến 1 mbar 50 L 52 s
    Thời gian sơ tán đến 1 mbar 100 L 104 s
    Thời gian sơ tán đến 1 mbar 1000 L 1054 s
    Thời gian khởi động < 2 phút
    Thời gian hiệu chuẩn < 30 giây
    Mặt bích đầu vào DN63 ISO-K
    Nguồn cấp 100 to 230 V 50/60 Hz
    Trọng lượng 143 kg

     

    Thông tin đặt hàng:

    UL6000 Fab (100 to 230 V 50/60 Hz) 550-520
    DN63-ISO K Connection Kit (1x Bellow 1 m, 1x 90° elbow, 2x center ring, 2x clamp set) 551-225
    DN63-ISO K/DN50 ISO KF Bellow 1 m 551-226
    DN63-ISO K/DN40 ISO KF Bellow 1 m 551-227
    Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter 551-015
    Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable 551-010
    Vacuum Hose Holder for DN25 or DN40 551-202
    Vacuum Hose Holder DN63 551-207
    SL3000-3, sniffer line 3 m length 525-001
    SL3000-5, sniffer line 5 m length 525-002
    SL3000-10, sniffer line 10 m length 525-003
    Bracket for SL3000 551-203
    SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000/6000 551-210
    Helium bottle holder 551-201
    I/O 1000 Module 560-310
    BM1000 Profi bus module 560-315
    BM1000 PROFINET IO module 560-316
    BM1000 DeviceNet module 560-317
    BM1000 Ethernet/IP module 560-318
    Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m 560-334
    Data Cable 2 m 560-332
    Data Cable 5 m 560-335
    Data Cable 10 m 560-340