Đầu đo chân không HPG400 – INFICON

Thương hiệu: INFICON

Mã sản phẩm: HPG400

HPG400 ATM to High-Vacuum Gauge

HPG400 – High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge – là dòng đầu đo kết hợp các cảm biến ion hóa nóng áp suất cao và Pirani trên cùng 1 thiết bị với thiết kế nhỏ gọn, tiết kiệm chi phí để đo áp suất từ 2 × 10^-6 mbar đến áp suất khí quyển (1,5 × 10^-6 Torr đến ATM).

HPG400 cho phép đo áp suất có khả năng lặp lại cao để kiểm soát áp suất quá trình phun (sputter) chính xác

Ưu điểm

HPG400 giúp tiết kiệm chi phí và giảm không gian lắp đặt thiết bị trên hệ thống chân không
Đầu đo đo ion nóng áp suất cao cung cấp các phép đo áp suất chính xác, đáng tin cậy từ 1 × 10^-5 … 1 mbar để kiểm soát quá trình.
Kích hoạt phát xạ ion nóng có thể được chọn bởi người dùng trong khoảng từ 5 × 10^-2 … 1 mbar
Phần tử Pirani bảo vệ dây tóc, cho thời gian hoạt động lâu hơn
Hiển thị đồ họa tùy chọn và giao diện Fieldbus có sẵn
Tự động điều chỉnh Pirani chân không cao làm giảm sự can thiệp của người vận hành
Đáp ứng tiêu chuẩn RoHS

CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU

Ứng dụng phún xạ trong ngành sản xuất chất bán dẫn, công nghiệp điện tử
Mạ chân không công nghiệp
Đo và điều khiển chân không chung trong phạm vi chân không thấp đến cao

Thông tin đặt hàng

Mã sản phẩm	Mô tả
353-520	HPG400 DN 25 ISO-KF
354-486	HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 DN 40 CF-F
353-523	HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

Thông số kỹ thuật

Dải đo	2 × 10^-6 … 1000 mbar 1.5 × 10^-6 … 750 Torr
Độ lặp lại (N2) % giá trị đọc
10^-5 … 10^-1 mbar	2
10^-1 … 100 mbar	30
Độ chính xác 10^-5 … 1 mbar	±15 % of reading
Nhiệt độ hoạt động °C	0 … +50
Nhiệt độ bảo quản °C	-20 … +70
Điện áp cấp (Vdc)	+20 … +28
Giao diện (digital)	RS232C
Kết nối điện	D-Sub, 15-pin, male
Cấp bảo vệ	IP30
Khối lượng (g)	430