Đầu đo chân không HPG400 – INFICON
HPG400 ATM to High-Vacuum Gauge
HPG400 – High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge – là dòng đầu đo kết hợp các cảm biến ion hóa nóng áp suất cao và Pirani trên cùng 1 thiết bị với thiết kế nhỏ gọn, tiết kiệm chi phí để đo áp suất từ 2 × 10-6 mbar đến áp suất khí quyển (1,5 × 10-6 Torr đến ATM).
HPG400 cho phép đo áp suất có khả năng lặp lại cao để kiểm soát áp suất quá trình phun (sputter) chính xác
Ưu điểm
- HPG400 giúp tiết kiệm chi phí và giảm không gian lắp đặt thiết bị trên hệ thống chân không
- Đầu đo đo ion nóng áp suất cao cung cấp các phép đo áp suất chính xác, đáng tin cậy từ 1 × 10-5 … 1 mbar để kiểm soát quá trình.
- Kích hoạt phát xạ ion nóng có thể được chọn bởi người dùng trong khoảng từ 5 × 10-2 … 1 mbar
- Phần tử Pirani bảo vệ dây tóc, cho thời gian hoạt động lâu hơn
- Hiển thị đồ họa tùy chọn và giao diện Fieldbus có sẵn
- Tự động điều chỉnh Pirani chân không cao làm giảm sự can thiệp của người vận hành
- Đáp ứng tiêu chuẩn RoHS
CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
- Ứng dụng phún xạ trong ngành sản xuất chất bán dẫn, công nghiệp điện tử
- Mạ chân không công nghiệp
- Đo và điều khiển chân không chung trong phạm vi chân không thấp đến cao
Thông tin đặt hàng
| Mã sản phẩm | Mô tả |
| 353-520 | HPG400 DN 25 ISO-KF |
| 354-486 | HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF |
| 353-521 | HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-522 | HPG400 DN 40 CF-F |
| 353-523 | HPG400 LCD, DN 40 CF-F |
| 353-525 | HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-526 | HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F |
| 353-527 | HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF |
| 353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
Thông số kỹ thuật
| Dải đo | 2 × 10-6 … 1000 mbar
1.5 × 10-6 … 750 Torr |
| Độ lặp lại (N2) % giá trị đọc | |
| 10-5 … 10-1 mbar | 2 |
| 10-1 … 100 mbar | 30 |
| Độ chính xác 10-5 … 1 mbar | ±15 % of reading |
| Nhiệt độ hoạt động °C | 0 … +50 |
| Nhiệt độ bảo quản °C | -20 … +70 |
| Điện áp cấp (Vdc) | +20 … +28 |
| Giao diện (digital) | RS232C |
| Kết nối điện | D-Sub, 15-pin, male |
| Cấp bảo vệ | IP30 |
| Khối lượng (g) | 430 |
Q&A
Sản Phẩm Liên Quan
Khoảng đo: 10-2 mbar … 10-9 mbar Nhiệt độ hoạt động: 0 – 80 độ C Áp suất lớn nhất (tuyệt đối): 6 bar
MPG500 là Đầu đo chân không Gemini Magnetron ngược, phù hợp cho các yêu cầu đo chân không dải rộng.
Khoảng đo: 5 x 10-9 đến 1000 mbar Độ chính xác: 30% giá trị đo Nhiệt độ làm việc: 5 … 55oC Điện áp nguồn cấp:...
Thay thế trực tiếp cho dòng PENNINGVAC PTR 225 và PTR 237 (Leybold) Dải đo rộng: từ 10-9 đến 10-2 mbar Cảm biến cathode bằng kim loại...