Đầu đo chân không dải đo rộng BAG302 – INFICON
Đầu đo chân không BAG302 với dải đo từ trung bình đến siêu cao
BAG302 là dòng đầu đo chân không Bayard-Alpert Hot Ion, cho dải đo rộng từ 1.3 × 10-9 đến 6.7×10-2 mbar(1 × 10-9 to 5 × 10-2 Torr)
Ưu điểm:
- Hai sợi đốt (filament) bạch kim phủ yttrium oxit cho thời gian hoạt động lâu dài
- BAG302 là thiết bị “all in one” với màn hình tích hợp, setpoints, ngõ ra tương tự và cổng tiêu chuẩn RS485 tích hợp.
- Màn hình OLED kỹ thuật số sáng rực rỡ với bàn phím bên dưới giúp đơn giản hóa các thao tác và lập trình
- Đơn vị đo thay đổi tùy chọn theo mbar, Torr hoặc Pa
- Người dùng có thể lựa chọn tự động điều chỉnh dòng phát xạ
- Rất bền và chắc chắn
- Mặt bích đa dạng, tùy chọn
- Dễ dàng thay thế lõi cảm biến
- Tuân thủ/đáp ứng theo tiêu chuẩn: CE, RoHS
- Thay thế trực tiếp với các dòng Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® – các chức năng điều khiển giống hệt nhau bao gồm lệnh và phần mềm.
Ứng dụng điển hình
- Đo áp suất chân không trong quy trình bán dẫn và buồng chuyển
- Phủ mạ chân không công nghiệp
- Đo và điều khiển chân không từ dải đo thấp đến cao
Thông số kỹ thuật
| Dải đo | 1.3 × 10-9 … 6.7 × 10-2 mbar
1 × 10-9 … 5 × 10-2 Torr 1.3 × 10-7 … 6.7 Pa |
| Độ chính xác (N2) % giá trị đọc | |
| 1.3×10-8 … 6.7×10-2 mbar | ±15 |
| 1×10-8 … 5×10-2 Torr | ±15 |
| Độ lặp lại % giá trị đọc | ±5 |
| Nhiệt độ hoạt động °C | 0 … +40 |
| Nhiệt độ bảo quản °C | -40 … +70 |
| Điện áp cấp (Vdc) | +20 … +28 |
| Giao diện (digital) | RS485 |
| Vật liệu sợi đốt | Hai sợi bạch kim mạ Yt2O2 |
| Trạng thái sợi đốt | Hiển thị / ngõ ra số |
| Kết nối điện | D-Sub, 9-pin, male dành cho analog D-Sub, 9-pin, female danh cho RS485 |
| Vật liệu tiếp xúc chân không | Yt2O3, Ir, W, Ta, thép không gỉ, thủy tinh, Ni |
| Khối lượng (g) | 270 |
Q&A
Sản Phẩm Liên Quan
Đầu đo chân không thụ động INFICON Bayard-Alpert BAG050, BAG051, BAG052 và BAG053 được thiết kế để sử dụng với Bộ điều khiển đo chân...
Khoảng đo: 10-2 mbar … 10-9 mbar Nhiệt độ hoạt động: 0 – 80 độ C Áp suất lớn nhất (tuyệt đối): 6 bar
Khoảng đo từ 5 x 10-10 mbar đến 6.7 x 10-2 mbar Sợi đốt bạch kim phủ yttium oxit
Bộ điều khiển đầu đo chân không INFICON VGC083 được thiết kế để sử dụng với đầu đo thụ động BAG05x và PGE050. VGC083 kiểm...