Ebeam Gun- Ferrotec Temescal

Thương hiệu: Ferrotec Temescal
Mã sản phẩm: 2PT, 3PT

    Ebeam Source PopTop® được cấp bằng sáng chế của Temescal, mang lại sự tiện lợi, độ tin cậy và thông lượng nâng cao trong các ứng dụng từ sản xuất quang học và vi điện tử đến chất bán dẫn phức hợp và R&D Coating chuyên dụng. Điểm mấu chốt của những cải tiến về hiệu suất này là nắp kim loại “PopTop” được vận hành bằng khí nén của Temescal, được nâng lên tự động trước khi tháp pháo quay. Ưu điểm là loại bỏ sự nhiễm bẫn chéo.

    Đặc tính:

    • Nắp che crucible có thể nâng lên trước khi crucible quay
    • Vận hành bằng khí nén
    • Ngăn ngừa nhiểm bẩn chéo
    • Giảm thiểu lắng đọng lên thành nắp che
    • Giảm thiểu hư hỏng của nguồn
    • Tăng cường làm crucible giúp cải thiện độ ổn định nhiệt trong quá trình bay hơi
    • Công suất: 1-10 kW (Model 2PT) và 1-12 kW (Model 3PT)

    Thông số kỹ thuật

    Trọng lượng Model 2PT: 44.2 lbs. (20 kg)
    Model 3PT: 50.3 lbs. (22.8 kg)
    Mô-men quay 10 in.• lbs. (11.5 kg • cm)
    Nhiệt độ bakeout 302° F (150° C)
    Công suất cực đại Model 2PT: 10 kW
    Model 3PT: 12 kW
    Điện áp tăng tốc 4–10 kV
    Áp suất hoạt động
    Tối đa 5 x 10-4 torr (6.7 x 10-4 mbar)
    Tối thiểu 1 x 10-8 torr (1.33 x 10-8 mbar)
    Tính chất của chùm tia điện từ
    Độ lệch góc 270°
    Kích thước/ hình dạng điểm Từ hình ô-van hẹp thành hình thuôn dài
    Khả năng quét Hướng dọc và hướng ngang
    Yêu cầu lắp đặt
    Công suất ngõ vào
    Dòng điện sợi đốt 70 A at 12 V ac
    Dòng điện phát 0–1.5 A at 4–10 kV dc (10 kW max.)
    Nước làm mát
    Nhiệt độ tối đa 68° F (20° C)
    Tốc độ dòng chảy 3.0 gpm (0.19 l/sec.)
    Áp suất vào tối đa 100 psi (6.89 bar)
    Áo suất delta tối thiểu 50 psi (3.45 bar)
    Feedthroughs
    Điện áp cao Hai HV feedthroughs có áp 12 kV tại 70 A

    Datasheet

    Q&A

    Sản Phẩm Liên Quan

    FerroVac Vacuum controller - Ferrotec Temescal

    Bộ điều khiển chùm tia điện tử Temescal EBC và bộ nguồn Temescal, bạn có thể cập nhật bộ xử lý lắng đọng hiện có...

    Chi tiết sản phẩm
    Cảm biến tinh thể thạch anh Quartz Crystal Sensor – INFICON

    Cảm biến tinh thể thạch anh Quartz Crystal Sensor (INFICON) là vật tư tiêu hao được dùng rất phổ biến trong các thiết bị coating,...

    Chi tiết sản phẩm
    TemEbeam EBC - Ferrotec Temescal

    Bộ điều khiển Ebeam tích hợp đa chức năng TemEBeam, một giải pháp mới độc đáo để đơn giản hóa hệ thống Ebeam. Với bộ...

    Chi tiết sản phẩm
    Electron Beam Power Supply- Ferrotec Temescal

    Carrera là bộ nguồn sử dụng công nghệ chế độ chuyển mạch sơ cấp để mang lại hiệu quả cao và khả năng phát hiện...

    Chi tiết sản phẩm