Đầu đo chân không Augent™ OPG550 – INFICON
OPG550 Augent™ Optical Plasma Vacuum Gauge – INFICON
OPG550 là dòng đầu đo plasma quang học nhỏ gọn và thông minh, chuyên dùng để giám sát chân không.
Augent ™ kết hợp hai công nghệ cảm biến trên một thiết bị nhỏ gọn để giám sát các loại khí trong dải đo từ 1 × 10⁻⁷ … 5 mbar và để đo áp suất tổng từ áp suất khí quyển xuống tới 1 × 10⁻⁷ mbar cùng một lúc.
Augent ™ được bảo vệ bởi một cảm biến Pirani tích hợp để tắt plasma khi áp suất trên 20 mbar.
Trong phạm vi đo từ 1 × 10⁻⁷ đến 5 mbar, đầu đo này cho phép phát hiện các khí như Oxy, Nitơ, Hydro hoặc Argon.
ƯU ĐIỂM
- Phát hiện rò rỉ tốc độ cao cho phép kiểm tra rò rỉ buồng
- Tăng năng suất và sản lượng
- Tuổi thọ cao, không bị hỏng dây tóc, bảo vệ không khí xâm nhập
- Chịu được quá trình hóa học
- Thuật toán thông minh để tích hợp dễ dàng
- Thiết kế nhỏ gọn
- Khởi động nhanh và đáng tin cậy
CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
- Kiểm tra rò rỉ buồng, kiểm tra RoR (tốc độ tăng) nhanh hơn
- Kiểm tra rò rỉ để tìm rò rỉ bên trong đường cấp khí
- Kiểm soát điểm kết thúc thời gian thực
- Kiểm soát loại khí và nồng độ
Thông số kỹ thuật
| Dải đo | 1×10⁻⁷ … 5 (mbar) |
| 7.6×10⁻⁸ … 3.8 (Torr) | |
| Độ chính xác (% giá trị đọc) | |
| 1 x 10⁻⁷ … 100 mbar | 30 |
| 100 … 1000 mbar | 50 |
| Nhiệt độ hoạt động (°C) | +5 … +50 |
| Nhiệt độ bảo quản (°C) | -20 … +70 |
| Độ ẩm % | <95 (không ngưng tụ) |
| Tín hiệu ngõ ra | |
| Analog | 0 … +10 |
| Digital | RS232C |
| Khối lượng (g) | <700 |
| Cấp bảo vệ | IP40 |
| Tiêu chuẩn | CE |
Vật tư tiêu hao
| OPG550 | |
| Mã sản phẩm | Mô tả |
| 351-590 | OPG550 spare sensor, 16-KF |
| 351-591 | OPG550 spare sensor, 16-CF-R |
| 351-592 | OPG550 spare sensor, 25-KF |
| 351-593 | OPG550 spare sensor, 8-VCR female |
Q&A
Sản Phẩm Liên Quan
Đầu đo chân không thụ động INFICON Bayard-Alpert BAG050, BAG051, BAG052 và BAG053 được thiết kế để sử dụng với Bộ điều khiển đo chân...
CDG100D là dòng Đầu đo chân không màng điện dung, chịu nhiệt cao tới 200 độ C Đây là sự lựa chọn tốt nhất cho...
Bộ điều khiển đầu đo chân không INFICON VGC083 được thiết kế để sử dụng với đầu đo thụ động BAG05x và PGE050. VGC083 kiểm...
Khoảng đo: 10-2 mbar … 10-9 mbar Nhiệt độ hoạt động: 0 – 80 độ C Áp suất lớn nhất (tuyệt đối): 6 bar