Máy dò tìm rò rỉ khí helium thế hệ mới UL3000 Fab ULTRA
Máy dò khí Helium UL3000 Fab ULTRA
Được thiết kế đặc biệt cho yêu cầu kiểm tra rò rỉ trong sản xuất bán dẫn.
ƯU ĐIỂM NỔI BẬT
Quá trình kiểm tra rò rỉ sớm hơn nhờ vào phần mềm HYDRO · S, giúp loại bỏ nền hơi nước, cho phép phát hiện nhanh và nhạy hơn.
Với tay dò khí SL3000 được cải tiến có độ dài tối đa 10m, giúp thiết bị phát hiện nhanh và nhạy.
SL3000 có một cổng kết nối độc lập, do đó không cần kết nối với đầu chân không như các dòng máy trước.
Hệ thống chân không được cải tiến cho phép phát hiện rò rỉ ngay từ áp suất khí quyển. Hệ thống khối phổ kế chắc chắn đảm bảo thời gian hoạt động lâu dài và chi phí bảo trì thấp.
GIAO DIỆN NGƯỜI DÙNG & ĐIỀU KHIỂN TỪ XA
Màn hình cảm ứng mới hiển thị kết quả kiểm tra và thông tin trạng thái một cách rõ ràng.
Hoạt động dễ dàng thông qua menu hướng dẫn người dùng, cho phép người sử dụng điều khiển không dây UL3000 Fab (ULTRA) thông qua điện thoại thông minh hoặc máy tính bảng – mà không cần phần mềm hoặc ứng dụng đặc biệt.
Việc ghi và lưu trữ kết quả thử nghiệm thông qua nút nhấn có thể được chuyển sang phương tiện lưu trữ khác để phân tích thêm.
Trọng tâm thấp, bánh xe lớn, tay cầm được thiết kế tiện lợi với thiết kế mỏng cho phép UL3000 Fab (ULTRA) rất linh hoạt ngay cả trong không gian chật hẹp
CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
- Fab bán dẫn
- Sản xuất màn hình
- Chế tạo pin mặt trời
- Mạ phủ chân không
Thông số kỹ thuật
| THÔNG SỐ KỸ THUẬT | |
| Loại | Dry Helium Leak Detetector UL3000 Fab |
| Khả năng dò tìm mức độ rò rỉ khí helium nhỏ nhất (chế độ chân không) | <5E-12 mbar•L/s |
| Khả năng dò tìm mức độ rò rỉ khí helium nhỏ nhất (chế độ hút) | 5E-8 mbar•L/s |
| Áp suất lớn nhất tại ngõ vào (chế độ Massive) | 1000 mbar |
| Áp suất lớn nhất tại ngõ vào (chế độ Fine) | 2 mbar |
| Áp suất lớn nhất tại ngõ vào (chế độ Ultra) | 0.4 mbar |
| Tốc độ bơm thoát khí (trợ lực) | > 30 m³/h at 50 Hz |
| Tốc độ bơm khí Helium (chế độ ULTRA) | 4 L/s |
| Khối lượng có thể dò được | 2,3,4 amu |
| Trường khối phổ | 180° |
| Nguồn đốt ion Iridium/Yttria coated | 2 |
| Tích hợp hiệu chuẩn | E-7 mbar•L/s |
| Cổng kiểm tra | 1 x DN 25 KF |
| Triggers điều chỉnh | 4 |
| Giao tiếp | 2 x USB, Ethernet/Lan |
| In/Outputs | Via I/O 1000 module |
| Nhiệt độ cho phép hoạt động | +10…..+40°C |
| Chuẩn bảo vệ | IP 20 |
| Trọng lượng | 132 kg |
| Kích thước | 1050 x 472 x 987 mm |
| Nguồn cấp | 100…240 V (+-10% ) 50/60Hz |
| Công suất tiêu thụ | Phổ biến 700 VA, tối đa 1500 VA |
Sản Phẩm Liên Quan
Máy dò khí helium Modul1000 (INFICON) với công nghệ Ultratest là giải pháp lý tưởng cho tích hợp hệ thống. Máy thích hợp cho cả yêu...
Máy kiểm tra rò rỉ kiểu hút dùng khí Helium được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng dò tìm rò rỉ trong công...
Máy dò khí heli và hydro kiểu hút XL3000 flex là dòng thiết bị mới nhất của INFICON Với khả năng Phát hiện khí Heli...